本书系统地研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压下纳米金刚石膜的制备；探索向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮气、氩气对沉积金刚石膜的表面形貌、结构、晶面取向及导电性能的影响，并以三聚氰胺为氮掺杂源，通过改变氩气氢气流量比制备高导电的纳米金刚石膜。
本书可供从事金刚石膜制备的学者和其他从事材料研究的技术人员阅读，也可作为相关专业高等院校的本科生、研究生使用和参考。

1 绪论
1.1 金刚石的晶体结构
1.2 金刚石的性能及应用
1.2.1 力学性能及应用
1.2.2 热学性能及应用
1.2.3 电学性能及应用
1.2.4 光学性能及应用
1.2.5 化学性能及应用
1.2.6 生物医学领域
1.3 金刚石的分类
1.4 化学气相沉积金刚石膜的研究进展及发展前景
参考文献
2 CVD金刚石的成膜机理及制备方法
2.1 CVD法生长金刚石膜的机理
2.2 CVD金刚石膜的制备方法简介
2.2.1 热丝CVD法
2.2.2 微波等离子体CVD法
2.2.3 等离子体喷射CVD法
2.2.4 电子回旋共振CVD法
2.2.5 燃烧火焰辅助CVD法
参考文献
3 金刚石膜的制备设备和表征手段
3.1 直流热阴极PCVD实验装置及实验准备
3.1.1 直流热阴极PCVD实验装置
3.1.2 直流辉光放电等离子体原理
3.1.3 实验准备及样品的制备
3.2 金刚石膜的形貌、结构和性能表征
3.2.1 扫描电子显微镜（SEM）
3.2.2 X射线衍射分析仪（XRD）
3.2.3 激光拉曼光谱仪（Raman）
3.2.4 霍尔效应测试仪（Hall）
3.2.5 原子力显微镜
3.2.6 透射电子显微镜（TEM）
3.2.7 金相显微镜
参考文献
4 CH4/H2气氛下金刚石膜生长特性研究
4.1 压强对金刚石膜生长特性的影响
4.1.1 较高CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响
4.1.2 较低CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响
4.2 衬底温度对金刚石膜生长特性的影响
4.2.1 SEM分析
4.2.2 Raman分析
4.2.3 XRD分析
4.2.4 综合分析
4.3 CH4流量对金刚石膜生长特性的影响
4.3.1 SEM分析
4.3.2 Raman分析
4.3.3 XRD分析
4.3.4 综合分析
4.4 本章小结
参考文献
5 低温低压下纳米金刚石膜的制备及性能分析
5.1 样品的制备
5.2 结果与讨论
5.2.1 SEM分析
5.2.2 Raman分析
5.2.3 XRD分析
5.3 本章小结
参考文献
6 氮掺杂金刚石膜的制备与性能研究
6.1 金刚石膜的掺杂研究概述
6.2 氮源性质简介
6.3 C3H6N6流量对金刚石膜的生长特性影响研究
6.3.1 SEM分析
6.3.2 Raman分析
6.3.3 XRD分析
6.3.4 电学性能分析
6.4 N2流量对金刚石膜生长特性影响研究
6.4.1 SEM分析
6.4.2 Raman分析
6.4.3 XRD分析
6.4.4 电学性能分析
6.5 NH3对金刚石膜生长特性影响研究
6.5.1 SEM分析
6.5.2 Raman分析
6.5.3 XRD分析
6.5.4 电学性能分析
6.6 Ar气浓度对氮掺杂金刚石膜的生长特性影响
6.6.1 SEM分析
6.6.2 Raman分析
6.6.3 XRD分析
6.6.4 不同Ar/H2流量比对纳米晶金刚石膜电学性能的影响
6.7 本章小结
参考文献
7 金刚石膜的高温氧化
7.1 金刚石氧化现象和机理
7.1.1 CVD金刚石膜的氧化现象
7.1.2 CVD金刚石膜的氧化机理
7.2 高温氧化对金刚石膜的性能的影响
7.3 影响金刚石膜氧化性能的因素
参考文献
8 金刚石膜压力传感器
8.1 金刚石传感器的相关技术
8.1.1 金刚石膜的图形化技术
8.1.2 金属化（金刚石传感器的欧姆接触）
8.2 压阻式金刚石膜压力传感器
8.2.1 压阻式传感器基本原理
8.2.2 压阻式金刚石压力传感器的制造
8.2.3 压阻式金刚石压力传感器研究现状及存在问题
参考文献
9 金刚石膜电极的电化学应用
9.1 金刚石膜电极优势
9.2 电化学污水处理
9.3 离子水洗衣机
9.4 电化学分析检测
9.4.1 COD的检测
9.4.2 医用药品的检测
9.4.3 金属元素及其他无机物的检测
9.4.4 生物传感器领域的应用
9.4.5 农药残留以及食品添加剂的检测
参考文献