本书针对高职高专院校微电子类专业学生的特点，本书以硅器件平面工艺为主线，详细介绍了微电子制造工艺，并重点突出应用能力培养。另外，书中还介绍了一些半导体理论基础知识以及半导体工业方面的内容，使读者可以在较短时间内对微电子制造工艺有较为完整的认识，同时深入了解微电子技术的特点，掌握微电子制造工艺技术。每章后附有复习思考题，便于读者自测、自查。针对微电子技术更新速度极快的特点，书后附录中给出了常用集成电路相关网址，便于读者及时查阅新技术与新工艺。

该书可供各大专院校作为教材使用，也可供从事相关工作的人员作为参考用书使用。

本书是一本综合介绍微电子制造工艺的教材，是按照高职高专电子、通信类专业“十一五”规划教材的要求编写而成的。

本书以硅器件平面工艺为主线，适当兼顾其他工艺方法。内容侧重于微电子制造工艺技术的介绍，为方便半导体业界以外人士阅读，还介绍了一些半导体理论基础知识以及半导体工业方面的内容，使读者可以在较短时间内对微电子制造工艺有较为完整的认识，同时深入了解微电子技术的特点，掌握微电子制造工艺技术。每章后附有复习思考题，便于读者自测、自查。针对微电子技术更新速度极快的特点，书后附录中给出了常用集成电路相关网址，便于读者及时查阅新技术与新工艺。本书参考教学时数为48学时。

本书针对高职高专院校微电子类专业学生的特点，坚持实用为主，够用为度，详细介绍微电子制造工艺，重点突出应用能力培养。本书结构清晰，语言通俗易懂，适用于教学、培训和自学。

第1章 半导体工业概述

 1.1 引言

1.1.1 半导体技术的发展

1.1.2 集成电路产品发展趋势

 1.2 半导体工业的构成

 1.3 半导体器件的生产阶段

 复习思考题

第2章 半导体材料基础知识

 2.1 晶体学基础知识

2.1.1 晶体与非晶体

2.1.2 原子间的键合

2.1.3 空间点阵

2.1.4 晶向和晶面的表示方法

 2.2 常用的半导体材料和工艺化学品

2.2.1 本征半导体和掺杂半导体

2.2.2 常用的半导体材料

2.2.3 工艺化学品

 复习思考题

第3章 集成电路有源元件和工艺流程

 3.1 概述

3.1.1 半导体元器件的生成

3.1.2 集成电路的形成

 3.2 集成电路制造工艺

3.2.1 双极型硅晶体管工艺

3.2.2 TTL集成电路工艺流程

3.2.3 MOS器件工艺流程

3.2.4 Bi-CMOS工艺

 复习思考题

第4章 晶体生长和晶圆制备

 4.1 晶体和晶圆质量

4.1.1 对衬底材料的要求

4.1.2 晶体的缺陷

 4.2 晶体生长

4.2.1 晶体生长的概念

4.2.2 晶体生长的方法

 4.3 晶圆制备

4.3.1 晶圆制备工艺流程

4.3.2 其他处理

 复习思考题

第5章 集成电路制造工艺概述

 5.1 集成电路设计简介

5.1.1 概述

5.1.2 工艺设计

5.1.3 版图设计

 5.2 集成电路的四项基础工艺概述

5.2.1 薄膜制备

5.2.2 光刻

5.2.3 掺杂

5.2.4 热处理

 复习思考题

第6章 薄膜制备

 6.1 外延

6.1.1 外延的机理和作用

6.1.2 外延方法

 6.2 氧化

6.2.1 氧化层的用途

6.2.2 氧化的机理和特点

6.2.3 氧化的方法

6.2.4 热氧化设备简介

6.2.5 影响氧化率的因素

 6.3 多晶硅和介质膜淀积

6.3.1 薄膜的化学气相淀积

6.3.2 多晶硅

 6.4 金属淀积

6.4.1 金属膜的用途

6.4.2 金属淀积方法

 6.5 金属化和平坦化

6.5.1 金属化

6.5.2 平坦化

 复习思考题

第7章 光刻

 7.1 图形加工技术简介

 7.2 基本光刻工艺流程

7.2.1 光刻胶

7.2.2 光刻工艺流程

7.2.3 光刻的工艺要求

 7.3 光刻机和光刻版

7.3.1 光刻机

7.3.2 光刻版

 复习思考题

第8章 掺杂

 8.1 合金法

 8.2 热扩散法

8.2.1 扩散的条件

8.2.2 典型的扩散形式

8.2.3 扩散工艺步骤

8.2.4 扩散层质量参数

8.2.5 扩散条件的选择

 8.3 离子注入法

8.3.1 离子注入法的特点

8.3.2 离子注入设备

8.3.3 晶体损伤和退火

 8.4 金扩散

 复习思考题

第9章 封装

 9.1 封装的功能和形式

9.1.1 封装的功能

9.1.2 封装的形式

 9.2 微电子封装工艺流程

 9.3 我国微电子封装技术的现状

 复习思考题

第10章 污染控制

 10.1 污染控制的重要性

10.1.1 主要污染物

10.1.2 污染物引起的问题

 10.2 主要污染源及其控制方法

10.2.1 空气

10.2.2 厂务设备

10.2.3 洁净室工作人员

10.2.4 工艺用水

10.2.5 工艺化学品

10.2.6 工艺化学气体

10.2.7 其他污染源

 10.3 晶片表面清洗

 10.4 烘干技术

 10.5 整体工艺良品率

10.5.1 累积晶圆生产良品率

10.5.2 晶圆电测良品率

10.5.3 封装良品率

复习思考题

附录A 洁净室等级标准

附录B 微电子行业常用网址

附录C 常用专业词汇表

参考文献