本书从当今世界面临能源危机的现实问题出发，深入浅出地介绍了使用磁控溅射方法制备B-FeSi，薄膜的方法和工艺及太阳能薄膜电池的制备测试结果。全书共分7章，包括绪论、半导体太阳能电池基本原理制备设备与表征设备、B-FeSi2薄膜的制备及特性研究、β-FeSin薄膜异质结的制备及性能研究、B-FeSi2薄膜电池模拟，β-FeSiz薄膜电池的制备研究等。涉及材料性质的理论研究、制备测试及其实际应用研究，对材料的制备工艺、太阳能电池结构的理论模拟和器件制备工艺，均有一定的阐述，对后来的研究者具有一定的借鉴意义。
本书适合从事半导体太阳能电池及其相关专业的师生使用.也可作为从事薄膜太阳能电池研究的技术人员的参考用书。

前言
第1章绪论
1.1引言
1.2β-FeSi2的基本性质
1.3β-FeSi2薄膜的制备及应用
第2章半导体太阳能电池基本原理
2.1PN结对太阳光的吸收
2.2太阳能电池基本原理
2.3太阳能电池基本结构
2.4太阳能电池参数分析
第3章制备设备与表征设备
3.1制备设备
3.2表征设备
第4章β-FeSi2薄膜的制备及影响因素
4.1β-FeSi2薄膜的制备参数
4.2退火温度的影响
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