本书系统阐述了当代扫描电镜与显微分析的原理、技术及进展。全书共16章：前13章着重介绍扫描电镜；后3章介绍显微分析，包括能谱和电子背散射衍射技术。在扫描电镜的基础知识中，第1章到第10章介绍了成像、电镜结构、电子光学、信号的产生和接收、村度和成像假象的原理和技术等；第11章到第13章介绍扫描电镜的综合应用，介绍了高分、低电压成像和更具体的操作和制样建议，以指导操作和实践。
本书以实用和实践为目的，结合材料学科的特点，将理论和技术结合，同时突出近些年来出现和应用的新技术，如低加速电压、浸没式物镜、硅漂移探测器等。
作者既希望内容由浅入深，又希望论述深入浅出，力图呈现当代扫描电镜的概貌，让读者领会技术在原理上的实现，感悟原理在技术上的表达。
本书适合材料学科及相关研究领域的本科生、研究生、科研人员和测试人员参考和阅读。

第1章图像和成像的概念1
1.1图像尺寸和像素1
1.2放大倍数和标尺2
1.3扫描成像原理4
1.4图像的亮度和对比度5
1.5分辨率和分辨率极限——为什么要用电子成像6
1.6扫描电镜及其分类8
1.7扫描电镜的特点9
第2章电子在电场和磁场中的运动12
2.1光子和电子12
2.2电子的发射和电子源14
2.3电子在静电场中的运动15
2.4电子在磁场中的运动17
2.5静电场和磁场在电镜中的应用19
2.6光学和电子光学22
第3章电子光学参数和聚焦24
3.1聚焦和工作距离24
3.2加速电压、电子束能量26
3.3束流26
3.4束斑28
3.5会聚角和立体角30
3.6电子光学亮度31
3.7景深和立体成像33
第4章电子扫描成像的实现和扫描电镜的结构37
4.1电子扫描成像37
4.2扫描电镜的结构38
4.3子枪39
4.4会聚系统（聚光镜、物镜和光阑）44
4.5扫描反射系统46
4.6探测系统50
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