本书旨在系统、全面地引导读者探索纳米薄膜科学与技术。本书在分析纳米材料的基础上, 讲解了纳米薄膜材料的基础知识, 并深入探讨了纳米薄膜的制备技术和表征方法, 最后立足实践, 对纳米薄膜材料在微电子、能源、环境和生物医学等领域的应用进行了详细阐述。

  第一章认识纳米材料

第一节纳米材料概述

第二节纳米材料的基本结构单元

第三节纳米材料的基本效应

第二章纳米薄膜材料

第一节纳米薄膜材料的概念

第二节纳米薄膜材料的分类

第三节纳米薄膜材料的性能

第三章表面薄膜与真空物理基础

第一节表面物理化学基础

第二节真空技术

第三节低温等离子体

第四节薄膜形核与生长

第四章纳米薄膜的制备技术

第一节纳米薄膜制备的物理方法

第二节纳米薄膜制备的化学方法

第三节分子组装法

第四节纳米薄膜的制备举例

第五章纳米薄膜的表征方法

第一节薄膜厚度的测量与监控

第二节表面成分和组织结构分析

第三节纳米薄膜的光电性能分析

第四节纳米薄膜的力学性能

第六章纳米薄膜材料的应用

第一节纳米薄膜在微电子领域的应用

第二节纳米薄膜在能源领域的应用

第三节纳米薄膜在环境领域的应用

第四节纳米薄膜在生物医学领域的应用

参考文献