微机电系统技术，是在20世纪80年代后期国际上兴起的一项高新技术。本书先由微机电系统入手，然后介绍微弱信号检测的一些背景知识，重点阐述了微弱信号检测的方法与技术，以及针对微器件不同的检测方式，详述其检测原理与检测方法，最后选取典型的微器件介绍了其微弱信号检测的实用电路。

本书内容翔实，理论联系实际，可操作性强，既可作为涉及电子噪声、低噪声设计、电磁兼容性、微弱信号检测的工程技术人员参考读物，又可作为微电子、自动化、电子工程、物理、生物医学工程、测试技术与仪器等专业的研究生和高年级本科生教材。

本书主要阐述微机电系统中微器件的微弱信号检测技术。本书先由微机电系统入手，然后介绍微弱信号检测的一些背景知识，重点阐述了微弱信号检测的方法与技术，以及针对微器件不同的检测方式，详述其检测原理与检测方法，最后选取典型的微器件介绍了其微弱信号检测的实用电路。

本书可作为微电子、自动化、电子工程、物理、生物医学工程、测试技术与仪器等专业的研究生和高年级本科生教材，也可作为涉及电子噪声、低噪声设计、电磁兼容性、微弱信号检测的工程技术人员参考读物。

第1章 微机电系统概述

1.1 微机电系统基本概念

1.2 微机电系统的基本研究内容

1.3 微机电系统的发展及应用

1.4 MEMS弱信号检测概述

第2章 微弱信号检测的背景知识

2.1 微弱信号和噪声性质及分类

2.2 常见的噪声类型

2.3 噪声的统计特征

2.4 噪声通过电路的响应

2.5 信号噪声比(SNR)及信噪改善比(SNIR)

第3章 微弱信号检测方法

3.1 概述

3.2 低噪声前置放大器

3.3 滤波技术

3.4 相关检测技术

3.5 同步积累法

3.6 开关—电容网络

3.7 双路消噪法

3.8 基于混沌振子的微弱信号检测

3.9 光子计数器

第4章 MEMS器件微弱信号检测技术

4.1 电容检测

4.2 压阻检测

4.3 压电检测

4.4 隧道检测

4.5 热流式检测技术

4.6 谐振式检测技术

4.7 光纤式检测技术

第5章 常用微机电器件的微弱信号检测电路

5.1 电容式信号检测电路

5.2 压阻式信号检测电路

5.3 压电式信号检测电路

5.4 隧道式信号检测电路

5.5 谐振式信号检测电路

5.6 光纤式信号检测电路

5.7 热流式信号检测电路

参考文献