液晶显示器件是大量现代科学技术成果的结晶，成为平板显示器件的主流，日益受到社会的青睐。本书系统介绍了液晶显示器件(TFT—LCD)的核心制造技术——TFT阵列制造技术，这对该产业的研究和发展具有现实意义。书中具体介绍了：TFT-LCD生产线建设、技术管理系统、TFT阵列制造的主要设备、TFT制造工艺小结与技术展望等方面的内容。

引言

 一、平板显示——人类智慧之窗

 二、薄膜晶体管的技术特点

第一章 TFT-LCD生产线建设

 1．1 TFT-LCD项目准备工作

 1．2 投资估算

 1．3 厂房建设

 1．4 净化系统

 1．5 信息管理系统

 1．6 技术管理系统

1．6．1 技术系统的结构

1．6．2 岗位职责

1．6．3 技术文件

 1．7 TFT阵列制造的主要设备

 1．8 TFT阵列制造的设计技术和研发

第二章 TFT元件的结构及特点

第三章 TFT工艺概述

第四章 TFT阵列制作清洗工艺

第五章 溅射成膜(金属膜)

第六章 CVD成膜(非金属膜)

第七章 曝光与显影工艺技术

第八章 湿刻工艺技术

第九章 干刻工艺技术

第十章 光刻胶剥离与退火

第十一章 缺陷解析技术

第十二章 TFT检查与修复

第十三章 TFT制造工艺小结与技术展望

参考文献