本书由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是本书的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。

微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书南40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望五个部分，共26章。全书统一规划，各章独立，由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是本书的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。

本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。

编者的话

第一篇 微系统和纳米技术基础

第1章 纳时代的信息电子学

第2章 微/纳流体力学

第3章 微系统中的材料问题

第4章 微机电系统的数值仿真方法

第5章 多学科交叉中的纳米力学

第6章 纳米结构与单分子的电子输运性质

第7章 纳米材料的结构分析和表征

第二篇 微系统

第8章 MEMS介绍

第9章 微机电传感器

第10章 微致动器

第11章 MEMS设计

第12章 微型电系统的加工制造工艺和技术

第13章 光MEMS和纳米光子

第14章 MEMS封装介绍

第三篇 纳米技术

第15章 纳米管、纳米线和纳米带

第16章 半导体纳米晶体——量子点、量子线、量子棒

第17章 STM和AFM在纳米加工和制造中的应用

第18章 纳米尺度制造

第19章 基于微机电系统造工艺的集成纳米技术

第四篇 微系统和纳米技术应用

第20章 微机电系统的应用

第21章 微机电传感系统

第22章 集成CMOS检测电路的表面微机械加速度计

第23章 汽车的MEMS

第24章 生物芯片

第25章 纳米技术在生物和医学中的应用

第五篇 发展和展望

第26章 发展和展望