本书为“国际制造业先进技术译丛”中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识，包括微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉等内容。本书内容新颖，重点突出，详略得当，能理论联系实际，深入浅出，通俗易懂。

本书是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。

本书主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考

译丛序言

译者序

第1章 绪论

 参考文献

第2章 惯性传感器

 2.1 简介

 2.2 惯性传感器的应用

 2.3 加速度的基本概念

 2.4 直线运动惯性传感器参数

 2.5 旋转运动的惯性传感器参数

 2.6 惯性传感器件的微机械加工技术

 2.7 微加工工艺加工问题

 2.8 惯性传感器的系统问题

 2.9 结束语

 参考文献

第3章 微机械压力传感器：器件、接口电路及性能

 3.1 简介

 3.2 器件结构和性能测试

 3.3 压阻式压力传感器

 3.4 电容式压力传感器

 3.5 伺服控制压力传感器

 3.6 其他压力传感方式

 3.7 结论

 参考文献

第4章 表面微加工器件

 4.1 引言

 4.2 材料特性和几何结构

 4.3 应力与应变

 4.4 机械设计

 4.5 封装

 4.6 应用

 4.7 MEMS失效机理

 4.8 结论

 参考文献

第5章 微执行器

 5.1 引言

 5.2 压电执行器

 5.3 电磁驱动器

 5.4 形状记忆合金驱动器

 参考文献

第6章 湍流传感器与执行器

 6.1 绪论

 6.2 MEMS工艺概述

 6.3 湍流

 6.4 用于湍流测量和控制的传感器

 6.5 用于流动控制的微执行器

 6.6 微透平机械

 6.7 结论

 参考文献

第7章 微机器人技术

 7.1 引言

 7.2 什么是微机器人

 7.3 微机器人的应用环境

 7.4 微机器人的制造技术

 7.5 微机器人器件

 7.6 多机器人系统（微型工厂和桌面工厂）

 7.7 结论与讨论

 参考文献

第8章 微型真空泵

 8.1 引言

 8.2 基础知识

 8.3 泵尺度

 8.4 MEMS真空系统的极限压强和抽气能力

 8.5 MEMS系统的工作压强和Ⅳ需求

 8.6 尺度规律综述

 8.7 新型泵送技术

 8.8 结论

 参考文献

第9章 非线性动电器件

 9.1 引言

 9.2 非线性动电现象

 9.3 交流动电现象

 9.4 小结

 参考文献

第10章 微液滴发生器

 10.1 简介

 10.2 微液滴发生器的工作原理

 10.3 物理和设计问题

 10.4 微液滴发生器的制造

 10.5 液滴产生的特性

 10.6 应用

 10.7 结束语

 参考文献

第11章 微热管和微散热器

 11.1 概述

 11.2 单个微热管

 11.3 微热管阵列

 11.4 平板微散热器

 11.5 新设计

 11.6 概要和结论

 参考文献

第12章 微通道热沉

 12.1 绪论

 12.2 微通道内对流换热的基本原理

 12.3 微通道内单相对流换热

 12.4 微通道内两相对流换热

 12.5 小结

 参考文献

第13章 流动控制

 13.1 绪论

 13.2 一般性原理

 13.3 “驯悍记”（The taming of the Shreu）

 13.4 湍流控制

 13.5 抽吸

 13.6 相干结构

 13.7 反应式流动控制

 13.8 磁流体控制

 13.9 混沌控制

 13.10 软计算

 13.11 应用MEMS技术的反应式控制

 13.12 总结

 参考文献

第14章 用于边界层减阻的反应式控制

 14.1 绪论

 14.2 近壁流向涡

 14.3 反相控制

 14.4 基于壁上检测的反应式控制

 14.5 有源壁运动

 14.6 结束语

 参考文献

第15章 自由剪切流的MEMS自主控制

 15.1 绪论

 15.2 自由剪切流

 15.3 剪切层MEMS控制系统组件和问题

 15.4 三角翼上滚动力矩的控制

 15.5 超声速射流啸音的控制

 15.6 低雷诺数翼上分离的控制

 15.7 对未来的思考

 参考文献