本书为“现代电子信息技术丛书”之一。全书首先阐述了各类微电子基本器件技术，然后按半导体制造工程顺序分别叙述大规模集成电路从设计、工艺、生产到封装、测试、可靠性等较全面的系列知识和先进技术，并重点突出新型的SoC技术和MEMS技术，最后介绍了通用微电子器件重点门类及应用。

本书在概述微电子技术〔含三代半导体及大规模集成电路〕的全貌和发展趋势之后，首先阐述了各类微电子基本器件技术，然后按半导体制造工程顺序分别叙述大规模集成电路从设计、工艺、生产到封装、测试、可靠性等较全面的系列知识和先进技术，并重点突出新型的SoC技术和MEMS技术，最后介绍了通用微电子器件重点门类及应用。本书反映了微电子学主要研究领域里学科发展的前沿技术。

读者对象：从事军、民电子信息技术及与半导体有关联业务的广大读者，微电子技术领域的研究部门、教育部门、产业部门、国防工业部门的大专以上科技人员，以及大专及以上院校相关专业师生。

第1章　绪论

 1.1 从0.5um、0.251Jm、0.139m到90nt0、65nm、lunm——看集成电路工艺技术的突飞

1.1.1 不断缩小特征尺寸——提高芯片集成度和性价比的有效手段

1.1.2　逐步增大圆片面积——提高芯片成品率和降低成本的最佳捷径

1.1.3探索新的发展空间

 1.2　从LSI、VLSI到GLSI/SoC——看集成电路设计技术的猛进

1.2.1　集成电路产业“龙头”——LSI设计

1.2.2　设计成功的保证——先进设计工具

1.2.3　设计技术的新革命——片上系统〔Sot〕

1.2.4　面临超深亚微米、纳米电路的设计挑战

　1.3　从Ge、Si、GaAs、InP到SiC　GaN——看第三代半导体的发展

1.3.1 半导体材料的电子能带及特性参数

1.3.2　元素半导体——Ge、Si

1.3.3　化合物半导体——GaAs、InP

1.3.4 宽带隙半导体——C、GaN

1.3.5　半导体材料新探索

 1.4　从MEMS、NEMS到生物芯片、有机半导体——看微电子技术向其他学科拓展

1.4.1　MEMS

　　1.4.2　NEMS

1.4.3 生物芯片

1.4.4 有机半导体

 1.5 推进微电子技术的高速发展

第2章 基本器件技术

第3章　设计技术

第4章　工艺技术

第5章　大生产技术

第6章　封装测试技术

第7章　微电子机械系统〔MEMS〕技术

第8章　片上系统〔SoC〕技术

第9章　可靠性技术

第10章　重点类别及其应用

缩略语