刘睿强，袁勇，林涛编著的这本《集成电路制程设计与工艺仿真》本书由典型集成电路工艺原理和技术入手，引出集成电路制造工艺的计算机仿真技术，由浅入深地介绍一维、二维乃至三维工艺仿真技术的发展现状，基于当前国内高校普遍使用的集成电路工艺设计教学与仿真平台，重点介绍一维工艺仿真，并涵盖二维工艺仿真和Synopsys所推出的新一代TCAD设计工具等内容。本书重点介绍集成电路工艺的计算机仿真技术，但为使内容保持相对完整和与其他课程的衔接，也简单介绍了原理知识，如集成电路工艺原理和工艺模型等内容，读者可根据具体教学情况酌情取舍。
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刘睿强，袁勇，林涛编著的这本《集成电路制程设计与工艺仿真》介绍当代集成电路设计的系统级前端、布局布线后端及工艺实现三大环节所构成的整体技术的发展，重点着眼于集成电路工艺过程的计算机仿真和计算机辅助设计，以及具体的工具软件和系统的使用。全书共12章，主要内容包括：常规集成平面工艺、集成工艺原理概要、超大规模集成工艺、一维工艺仿真综述、工艺仿真交互设置、工艺仿真模型设置、工艺仿真模拟精度、一维工艺仿真实例、集成工艺二维仿真、二维工艺仿真实现、现代可制造性设计、可制造性设计理念，并提供电子课件和习题解答。
《集成电路制程设计与工艺仿真》可作为高等学校电子科学与技术、微电子、集成电路设计等专业的教材，也可供集成电路芯片制造领域的工程技术人员学习参考。
目录
绪论/（1）
0-1 半导体及半导体工业的起源/（2）
0-2 半导体工业的发展规律/（3）
0-3 半导体技术向微电子技术的发展/（5）
0-4 当代微电子技术的发展特征/（7）
本章小结/（8）
习题/（8）
第1章 半导体材料及制备/（9）
1.1 半导体材料及半导体材料的特性/（9）
1.1.1 半导体材料的特征与属性/（10）
1.1.2 半导体材料硅的结构特征/（10）
1.2 半导体材料的冶炼及单晶制备/（11）
1.3 半导体硅材料的提纯技术/（13）
1.3.1 精馏提纯SiCl4技术及其提纯装置/（13）
1.3.2 精馏提纯SiCl4的基本原理/（14）
1.4 半导体单晶材料的制备/（15）
1.5 半导体单晶制备过程中的晶体缺陷/（17）
本章小结/（19）
习题/（20）
第2章 集成工艺及原理/（21）
2.1 常规集成电路制造技术基础/（21）
2.1.1 常规双极性晶体管的工艺结构/（21）
2.1.2 常规双极性晶体管平面工艺流程/（23）
2.1.3 常规PN结隔离集成电路平面工艺流程/（24）
2.2 外延生长技术/（25）
2.3 常规硅气相外延生长过程的动力学原理/（27）
2.4 氧化介质制备技术/（31）
2.5 半导体高温掺杂技术/（35）
2.6 常规高温热扩散的数学描述/（39）
2.6.1 恒定表面源扩散问题的数学分析/（40）
2.6.2 有限表面源扩散问题的数学分析/（41）
2.7 杂质热扩散及热迁移工艺模型/（42）
2.8 离子注入低温掺杂技术/（44）
本章小结/（47）
习题/（48）
第3章 超大规模集成工艺/（50）
3.1 当代微电子技术的技术进步/（50）
3.2 当代超深亚微米级层次的技术特征/（51）
3.3 超深亚微米层次下的小尺寸效应/（51）
3.4 典型超深亚微米CMOS制造工艺/（53）
3.5 超深亚微米CMOS工艺技术模块简介/（57）
本章小结/（65）
习题/（66）
第4章 一维工艺仿真综述/（67）
4.1 集成电路工艺仿真技术/（69）
4.2 一维工艺仿真系统SUPREM-2/（70）
4.3 SUPREM-2的建模/（72）
本章小结/（74）
习题/（75）
第5章 工艺仿真交互设置/（77）
5.1 SUPREM-2工艺仿真输入卡的设置规范/（77）
5.2 SUPREM-2工艺模拟卡的卡序设置/（78）
5.3 SUPREM-2仿真系统的卡语句设置/（79）
5.4 输出/输入类卡语句的设置/（81）
5.5 工艺步骤类卡语句的设置/（83）
5.6 工艺模型类卡语句的设置/（86）
本章小结/（87）
习题/（88）
第6章 工艺模拟系统模型设置/（89）
6.1 系统模型的类型及参数分类/（89）
6.1.1 元素模型/（89）
6.1.2 氧化模型/（90）
6.1.3 外延模型/（91）
6.1.4 特殊用途模型/（91）
6.2 SUPREM-2工艺模拟系统所设置的默认参数值/（92）
本章小结/（94）
习题/（94）
第7章 工艺模拟精度的调试/（95）
7.1 工艺模拟输入卡模型修改语句/（95）
7.2 工艺模拟精度的调试实验/（95）
7.2.1 工艺模拟精度调试实验的设置/（95）
7.2.2 工艺模拟精度调试实验举例/（96）
本章小结/（100）
习题/（100）
第8章 一维工艺仿真实例/（102）
8.1 纵向NPN管芯工序全工艺模拟/（102）
8.1.1 工艺制程与模拟卡段的对应描述/（102）
8.1.2 纵向NPN工艺制程的标准模拟卡文件/（107）
8.1.3 纵向NPN工艺制程模拟的标准输出/（110）
8.2 PMOS结构栅氧工艺模拟实例/（110）
8.3 典型的NPN分立三极管工艺模拟/（114）
8.4 PMOS场效应器件源漏扩散模拟/（114）
8.5 可制造性设计实例一/（115）
8.6 可制造性设计实例二/（116）
8.7 可制造性设计实例三/（117）
8.8 可制造性设计实例四/（119）
本章小结/（120）
习题/（120）
第9章 集成电路工艺二维仿真/（122）
9.1 集成电路工艺二维仿真系统/（122）
9.1.1 TSUPREM-4系统概述/（122）
9.1.2 TSUPREM-4仿真系统剖析/（123）
9.1.3 TSUPREM-4采用的数值算法/（125）
9.2 TSUPREM-4仿真系统的运行/（126）
9.3 TSUPREM-4仿真系统的人机交互语言/（126）
本章小结/（132）
习题/（133）
第10章 二维工艺仿真实例/（134）
10.1 二维选择性定域刻蚀的实现/（134）
本章小结/（149）
习题/（149）
第11章 可制造性设计工具/（151）
11.1 新一代集成工艺仿真系统Sentaurus Process/（152）
11.1.1 Sentaurus Process简介/（152）
11.1.2 Sentaurus Process的安装及启动/（153）
11.1.3 创建Sentaurus Process批处理卡命令文件/（153）
11.1.4 Sentaurus Process批处理文件执行的主要命令语句/（154）
11.1.5 Sentaurus Process所设置的文件类型/（157）
11.2 Sentaurus Process的仿真功能及交互工具/（158）
11.2.1 Sentaurus Process的仿真领域/（158）
11.2.2 Sentaurus Process提供的数据库浏览器/（159）
11.2.3 Sentaurus Process图形输出结果调阅工具/（160）
11.3 Sentaurus Process所收入的近代模型/（161）
11.3.1 Sentaurus Process中的离子注入模型/（162）
11.3.2 Sentaurus Process中的小尺寸扩散模型/（163）
11.3.3 Sentaurus Process对局部微机械应力变化描述的建模/（163）
11.3.4 Sentaurus Process中基于原子动力学的蒙特卡罗扩散模型/（164）
11.3.5 Sentaurus Process中的氧化模型/（164）
11.4 Sentaurus Process工艺仿真实例/（165）
11.4.1 工艺制程设计方案/（165）
11.4.2 工艺仿真卡命令文件的编写/（168）
11.4.3 仿真实例卡命令文件范本/（177）
11.4.4 工艺制程仿真结果/（181）
11.4.5 工艺仿真结果的分析/（183）
11.5 关于Sentaurus StructureEditor器件结构生成器/（184）
11.5.1 Sentaurus Structure Editor概述/（184）
11.5.2 使用SDE完成由Process到Device的接口过渡/（186）
11.5.3 使用Sentaurus StructureEditor创建新的器件结构/（190）
本章小结/（194）
习题/（194）
第12章 可制造性设计理念/（196）
12.1 纳米级IC可制造性设计理念/（197）
12.1.1 DFM 技术的实现流程/（197）
12.1.2 DFM与工艺可变性、光刻之间的关系/（198）
12.1.3 DFM工具的发展/（200）
12.2 提高可制造性良品率的OPC技术/（201）
12.2.1 光刻技术的现状与发展概况/（201）
12.2.2 关于光学邻近效应/（202）
12.2.3 光学邻近效应校正技术/（203）
12.2.4 用于实现光刻校正的工具软件/（207）
12.3 Synopsys可制造性设计解决方案/（210）
12.3.1 良品率设计分析工具套装/（211）
12.3.2 掩膜综合工具/（212）
12.3.3 掩膜数据准备工具CATSTM/（213）
12.3.4 光刻验证及光刻规则检查系统/（213）
12.3.5 虚拟光掩膜步进曝光模拟系统/（214）
12.3.6 TCAD可制造性设计工具/（214）
12.3.7 制造良品率的管理工具/（217）
本章小结/（217）
习题/（218）
参考文献/（219）
- 大千世界
- 笑殇
- 暗恋花开，不再来
- 醉舞记
- 少女小鱼[GL]
- 追魂记之情系五百年
- 绣球花仗满堂前
- 似水流颜
- 写给你的信
- 我的龙相公
- 搞怪主人搞定“迷糊”小女仆
- 综漫同人——千城
- 刺猬之暖（原名：我只能爱你三分十五秒）
- 你所没有的
- L异商会
- 我，2008
- 落。翊洛。惘...非穿越...
- 泣血玉水魂
- 穿越大剑之紫瞳女巫
- 凤断残梦（友谊）
- [家教8059，6918]深海花火
- 祭奠
- 小小少年
- 华丽的孤独
- 太极
- 图片处理软件 Adobe Photoshop Lightroom V5.5 绿色便携版32位
- iCal个人日程管理软件 V1.6.421 绿色中文免费版
- 鱼鱼抓色 V3.81 绿色版
- QQ游戏补丁登录器V4.5.2 绿色中文免费版
- ESSamp v2.0.0.0 (php运行环境)
- 脚本解密软件 FreShow v1.50 原版+汉化绿色版
- 世界上最小的播放器 CHKen Player 终结版
- 虚拟磁盘管理 CHKen Virtual Disk 0.4
- AirPlay 音乐播放器 2012.0219 绿色版
- 金山打字游戏 2010V8.0.0.36 绿色版
- 狙击手-僵尸爆头
- 醉酒冒险
- 牙科医生的故事
- 马诺斯之命运之手
- 深夜同窗会
- 竹林熊猫 完整版
- 反恐特种兵
- Towelfight 2
- 诗词达人
- 小毛球和大眼睛
- 营盘镇警事
- 奸细
- 神探夏洛克 第二季
- 逃嫁公主
- 独立纵队
- 猎杀
- 青瓷
- 欢乐元帅
- 对与决
- 孤军英雄