《功能薄膜及其沉积制备技术》由戴达煌、代明江、侯惠君编著，本书以功能薄膜和现代表面沉积技术为重点，结合薄膜的特点与工程应用的发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜的选择设计原则和发展趋势；在薄膜沉积技术中，重点讲了化学和物理气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备的方法、原理、工艺特点及适用的技术领域；在装饰功能薄膜中，讲述了装饰膜的主要膜系，膜系设计的主要原则，重点列举了仿金与彩色、幕墙玻璃、塑料金属化、彩虹薄膜与镀铝纸等装饰薄膜的应用；在机械功能薄膜中，讲述了机械功能膜的主要膜系与设计膜系的基本原则，重点讲了氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、金属、金属合金及超硬膜的性能、特点及其在工业上的典型应用与发展等，全书内容新颖、系统齐全、涉及面广，有些内容和技术研究属于前沿资料，其中有部分是我们25年来的研究成果，并着力贯穿一些新的构思、新的材料和新器件所实现的工程应用，力求做到深入浅出，通俗易懂。

《功能薄膜及其沉积制备技术》由戴达煌、代明江、侯惠君编著，本书结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜设计的原则；重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域；在装饰与机械功能薄膜中，讲述了主要膜系、膜系的设计原则，并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势；在物理和特殊功能薄膜中，讲述了微电子、电磁、光学、光电子、集成光学等功能薄膜以及几种特殊的功能薄膜的特点及其典型的应用；最后扼要地介绍了微细加工技术、微机电系统加工的特点、典型器件与系统的新应用等内容。全书内容系统，深入浅出地介绍了一些新构思、新材料、新器件所实现的工程应用。

《功能薄膜及其沉积制备技术》可供从事材料表面技术与工程、薄膜材料工艺与应用研究、设计、制造、管理的科技人员参考，也可供高等院校材料专业和相近专业师生使用。

1 绪论

2 功能薄膜的沉积制备方法

3 装饰功能薄膜

4 机械功能薄膜

5 物理功能薄膜

6 特殊功能薄膜

7 材料表面微细加工技术及其在微机电系统中的应用

参考文献