在内容的编排上，本书的第一章介绍了在薄膜技术中涉及到的真空技术基础知识，包括气体分子运动论的基本概念和真空的获得及测量方法。第二、第三、第四章依次对蒸发法、溅射法等物理气相沉积技术以化学气相沉积技术制备薄膜的原理和方法进行了讨论。在第五章中，我们将以理论和实验两个方面详细讨论薄膜的形核及生长理论，并对薄膜材料应用所涉及的薄膜应力和附着力问题进行了简单介绍。在第六章中，我们将围绕薄膜技术中涉及到的薄膜厚度、薄膜微观结构及成分的分析表征方法展开讨论。最后一章则有选择地简要介绍了薄膜材料在五个不同领域中的应用，其目的是使读者进一步熟悉薄膜材料广泛的应用领域及其发展方向。

前言

一、薄膜制备的真空技术基础

1、气体分子运动论的基本概念

2、 气体的流动状态和真空的获得

……

二、薄膜的物理气相沉积（I）蒸发法

1、物质的热蒸发

2、薄膜沉积的厚度均匀性和纯度

……

三、薄膜的物理气相沉积（II）溅射法及其他PVD方法

1、辉光放电与等离子体

2、物质的溅射现像

……

四、薄膜的化学气相沉积

1、化学气相沉积所涉及的化学反应类型

2、化学气相沉积过程的热力学

……

五、薄膜的生长过程和薄膜结构

1、薄膜生长过程概述

2、新相的自发形核理论

……

六、薄膜材料的表征方法

1、薄膜厚度测量技术

2、薄膜结构的表征方法

……

七、薄膜材料及其应用

1、耐磨及表面防护涂层

2、金刚石薄膜

……

参考文献

几乎所有薄膜材料的制备、处理和表征都是在真空或者较低的气压条件下进行的，或者涉及到气相的产生、运输或反应的过程。因此，有关气体的基本性质、真空的获得和测量等方面的知识是了解薄膜材料技术的基础。