刘耀东编著的这本《氧化锌薄膜材料》共七章包括ZnO结构及性质、ZnO的掺杂特性、不同铝含量沉积ZnO：Al薄膜、ZnO薄膜的低温沉积、N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂、ZnO结型器件、ZnO薄膜的应用、ZnO薄膜的晶体结构、ZnO薄膜的光电特性等内容。本书适合从事半导体薄膜材料制备工作的研究人员和在校师生使用。

刘耀东编著的这本《氧化锌薄膜材料》针对ZnO材料的发展趋势及应用背景，深入系统介绍了ZnO薄膜材料的本征特性及其掺杂机理，涉及了一些最新的制备技术，包括有溅射法、脉冲激光沉积（PLD）、原子层外延（ALE）、金属有机物汽相外延（MOCVD）、分子束外延（MBE）等。

《氧化锌薄膜材料》的读者对象为从事半导体薄膜材料制备工作的研究人员和在校师生。

第一章 ZnO结构及性质

 1.1 引言

 1.2 ZnO薄膜的晶体结构

 1.3 ZnO薄膜的光电特性

 1.4 ZnO薄膜的发光机理

 1.5 ZnO薄膜的研究现状

1.5.1 ZnO的掺杂特性和pn结的制作

1.5.2 ZnO薄膜的应用前景

 1.6 ZnO薄膜的制备方法

1.6.1 分子束外延

1.6.2 金属有机物气相外延

1.6.3 纯锌膜氧化法

1.6.4 磁控溅射法

1.6.5 脉冲激光沉积法

1.6.6 溶胶一凝胶法

1.6.7 喷雾热解法

1.6.8 原子层外延法

 参考文献

第二章 ZnO的掺杂特性

 2.1 引言

 2.2 ZnO的n型掺杂

2.2.1 Al掺杂ZnO薄膜

2.2.2 在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜

2.2.3 F掺杂ZnO薄膜

2.2.4 Mn掺杂ZnO薄膜

2.2.5 Ga掺杂ZnO薄膜

 2.3 ZnO的p型掺杂

2.3.1 N掺杂ZnO薄膜

2.3.2 P掺杂ZnO薄膜

2.3.3 Ag掺杂ZnO薄膜

 2.4 微观组织、结构特性和发光性能的表征

 2.5 脉冲激光沉积法制备薄膜的工艺参数

 2.6 ZnO的N及Al、N共掺杂

 参考文献

第三章 不同铝含量沉积ZnO:Al薄膜

 3.1 引言

 3.2 Al含量对ZnO:Al薄膜结构的影响

 3.3 Al含量对ZnO:Al薄膜发光性能的影响

 3.4 Al含量对ZnO:Al薄膜电学性能的影响

 3.5 基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性和透光率的影响

 3.6 不同Al含量对ZnO:Al薄膜透光性能的影响

 3.7 基体温度对ZnO:Al薄膜发光性能的影响

 参考文献

第四章 ZnO薄膜的低温沉积

 4.1 引言

 4.2 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜结构的影响

 4.3 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜可见光波段透光率的影响

 4.4 室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜PL谱的影响

 4.5 在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜

4.5.1 氧气压力对ZnO:Al薄膜结构特性的影响

4.5.2 基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性的影响

4.5.3 有机基体上沉积ZnO:AJ薄膜的发光性能

 参考文献

第五章 N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂

 5.1 引言

 5.2 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的结晶性能

 5.3 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的发光性能

 5.4 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的电学性能

 5.5 N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的XPS分析

 参考文献

第六章 ZnO结型器件

 6.1 引言

 6.2 氧化锌同质pn结

 6.3 氧化锌异质pn结

6.3.1 氧化锌与GaN异质结的能带结构

6.3.2 ZnO/GaN异质结发光二极管

 参考文献

第七章 ZnO薄膜的应用

 7.1 引言

 7.2 ZnO气敏元件

 7.3 ZnO透明导电薄膜

 7.4 ZnO薄膜晶体管

 7.5 ZnO发光器件

 7.6 ZnO光电导紫外探测器

 7.7 ZnO声表面波器件

参考文献