本书为高等工科院校测控技术与仪器专业“精密仪器设计”课程的教材，从精密仪器精度理论、设计原理到精密仪器光、机、电结构分析和设计方法做了较系统的介绍。
全书共分为八章，包括精密仪器概论、仪器的精度理论、精密仪器总体设计、机械系统设计、光学系统设计、伺服系统设计、电路系统设计和精密仪器设计实例等内容。
本书内容侧重于光、机、电一体化的精密仪器的基本工作原理、主要技术、设计方法等工程基础知识和本专业的基本理论知识体系以及精密仪器设计和实施实验能力的训练，因此适用于电子与机械类相关专业的师生和从事仪器设计、科研、计量、生产的工程技术人员学习和参考。

前言
第一章 精密仪器概论
第一节 概述
第二节 精密仪器的重要性和展望
第三节 精密仪器的设计要求和过程
作业与思考题
第二章 仪器的精度理论
第一节 精度理论的基本概念
第二节 误差的处理和评定
第三节 仪器的精度分析
第四节 仪器的精度设计
作业与思考题
第三章 精密仪器总体设计
第一节 总体设计的相关基础
第二节 总体设计内容
第三节 总体设计举例
作业与思考题
第四章 机械系统设计
第一节 机构设计基础
第二节 机械传动机构设计
第三节 导向机构设计
第四节 微位移机构设计
作业与思考题
第五章 光学系统设计
第一节 概述
第二节 光学基本理论
第三节 典型光学元件及成像理论
第四节 典型光学系统
作业与思考题
第六章 伺服系统设计
第一节 概述
第二节 开环伺服控制系统设计
第三节 闭环伺服控制系统设计
作业与思考题
第七章 电路系统设计
第一节 电路系统组成与设计要求
第二节 电路系统硬件设计
第三节 电路系统软件设计
第四节 电路系统抗干扰及可靠性设计
作业与思考题
第八章 精密仪器设计实例
第一节 激光干涉测长仪设计
第二节 便携式近红外光谱仪器设计
作业与思考题
实验部分
实验一 测量显微镜结构分析设计
实验二 精密工作台控制系统设计
实验三 精密工作台控制计算机系统设计
实验四 单色仪光栅扫描计算机控制系统设计
参考文献