微型传感器是一门多学科交叉的综合性技术，涉及知识面广，更新速度快。面对具体问题时，能查到专业文献、能读懂文献内容、能自行设计实验、能对实验结果进行分析总结，是从事该领域科学研究及工程应用的人员必备的基本专业素养。本书将深入的基础知识阐述与丰富的实例分析相结合，采用大量的图表，系统介绍了热、辐射、机械、磁、化学量微传感器以及微传感器系统等方面的基本理论及实现技术。在每章结尾都给出了推荐阅读与练习思考题，引导读者建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本理念。

本书可用作高等院校微机电系统、测控技术与仪器等专业的本科及研究生的专业课程教材，也可作为从事相关专业工程技术人员的参考书。

针对微传感器技术发展速度快，一些理论、方法及实现技术尚未成熟的特点，本书紧密结合微传感器的最新发展动态，对热、辐射、机械、磁、化学量微传感器的基本理论及实现技术进行分类阐述，同时介绍了微传感器系统及其数据获取与处理方面的知识，旨在为读者提供一本微传感器方面的入门读物。本书帮助读者在掌握微传感器基础知识的基础上，建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本概念。当遇到具体的微传感器问题时，能查到专业文献，能读懂文献内容，能自行设计实验，能对实验结果进行分析总结。

本书所涉及的微传感器，是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。全书共分10章：引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。

本书可供高等工科院校微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业师生使用，也可供从事仪器相关专业的研究、设计、制造、使用的工程技术人员学习和参考。

1 引言

2 微传感器与信号

3 微传感器的常用材料及加工工艺

4 热学量传感器

5 辐射量微传感器

6 机械量微传感器

7 磁微传感器

8 化学量微传感器常用技术

9 化学量微传感器

10 微传感器的数据获取