本书重点介绍精密和超精密机床在位检测与误差分离技术，全书分六章。主要介绍了电容传感器、电感传感器、基于同心圆光栅莫尔条纹图像处理的二自由度误差测量系统和大量程纳米级光栅位移测量系统等四种测量仪器基本原理和改进措施。介绍了超精密加工中无误差重构的直线度测量及运动误差分离方法，圆度、圆柱度和平面度测量及运动误差分离方法与实验。最后还介绍了基于李群李代数的形位公差统一模型与评定方法。

本书重点介绍精密和超精密机床在位检测与误差分离技术，全书分为六章。主要介绍了电容传感器、电感传感器、基于同心圆光栅莫尔条纹图像处理的二自由度误差测量系统和大量程纳米级光栅位移测量系统等四种测量仪器基本原理和改进措施。介绍了超精密加工中无误差重构的直线度测量及运动误差分离方法，圆度、圆柱度和平面度测量及运动误差分离方法与实验。最后还介绍了基于李群李代数的形位公差统一模型与评定方法。

本书可供从事精密和超精密机床设计、超精密加工工艺、精密仪器和测量等精密工程领域研究的科技人员参考，也适合大专院校相关专业的师生阅读。

第一章 精密和超精密在位检测仪器

 1.1 电容传感器

1.1.1 电容传感器简介

1.1.2 电容式位移传感器的原理

1.1.3 KD-2型数字式电容位移传感器

 1.1.3.1 测量电路原理

 1.1.3.2 测量电路的稳定性

 1.1.3.3 标定

 1.1.3.4 噪声的测试

 1.1.3.5 动态性能分析

 1.2 电感传感器

1.2.1 电感传感器工作原理

1.2.2 精密测量电路的改进

 1.3 基于同心圆光栅莫尔条纹图像处理的二自由度误差测量系统

1.3.1 测量系统基本原理

1.3.2 测量系统基本构成

1.3.3 多自由度误差测量系统的应用

1.3.4 同心圆光栅莫尔条纹形成的理论基础

1.3.5 莫尔条纹图像处理

1.3.6 测量系统实验

 1.4 大量程纳米级光栅位移测量理论及方法

1.4.1 纳米级光栅技术概述

 1.4.1.1 双高线数光栅系统

 1.4.1.2 单根高线数光栅系统

 1.4.1.3 非对称双级闪耀光栅系统

1.4.2 单根计量光栅实现丈量程纳米级光栅位移测量的原理

1.4.3 波动光学分析法

1.4.4 实验研究

1.4.5 光栅位移测试系统设计

1.4.6 基于DSP的宽动态范围莫尔条纹精密计数细分方法

 1.4.6.1 计数细分的用途

 1.4.6.2 常规计数方法及其存在的问题

 1.4.6.3 新计数细分方法的原理与实现

 参考文献

第二章 超精密直线度测量以及直线运动误差分离技术

 2.1 基本概念

2.1.1 直线度与直线运动误差

2.1.2 直线度测量方法

2.1.3 超精密加工中的误差分离

 2.2 单测头测量法

 ……

第三章 超精密圆度及主轴回转运动误差在位测量与分离技术

第四章 超精密加工的圆柱度在位测量与误差补偿技术

第五章 超精密大型平面磨床在位平面测量

第六章 基于李群李代数的行位公差一模型与评定方法