《硬脆材料加工技术》(作者张云电、张宇、严明、冯晓宇)作者张云电、张宇、严明、冯晓宇一直在信息产业部特种加工重点实验室从事硬脆材料加工技术研究工作，开发超声加工机床、激光珩磨机和化学腐蚀加工设备等，对硅、石英、钕铁硼、玻璃、红宝石、蓝宝石、淬火钢、镀铬层等硬脆材料进行了多年的加工和试验研究，取得了多项成果，并已用于生产。

本书系统地介绍了硬脆材料加工理论、方法、设备和工艺，重点介绍了下述加工方法：磨料切割加工、研磨抛光、磨料冲击加工、高能束流加工、电加工、超声旋转加工、复合加工、超声加工、化学腐蚀加工。

《硬脆材料加工技术》(作者张云电、张宇、严明、冯晓宇)系统地介绍了硬脆材料加工理论、方法、设备和工艺，重点介绍了下述加工方法：磨料切割加工、研磨抛光、磨料冲击加工、高能束流加工、电加工、超声旋转加工、复合加工、超声加工、化学腐蚀加工。

《硬脆材料加工技术》可作为高等学校机械、电子、光学等专业的教材，也可供从事硬脆材料加工设备设计、开发、生产、应用和维修的高、中级技术人员参考。

前言

第1章 绪论

1.1 材料是人类文明的支柱

1.2 硬脆材料加工方法

第2章 硬脆材料

2.1 石材

2.2 单晶硅

2.3 陶瓷

2.4 微晶玻璃

2.5 磁性材料

2.6 复合材料

第3章 磨料切割加工

3.1 石材切割

3.2 超声切割

3.3 超声锯床

第4章 研磨抛光

4.1 研磨

4.2 抛光

4.3 石材研磨抛光设备

第5章 磨料冲击加工

5.1 磨料冲击加工原理

5.2 数控超声加工机床

5.3 硅镜磨料冲击加工

5.4 石英摆片磨料冲击加工

5.5 多面体磨料冲击加工

第6章 高能束流加工

6.1 激光束加工

6.2 电子束加工

6.3 离子束加工

6.4 水射流及磨料流加工

第7章 电加工

7.1 电火花加工

7.2 电解加工

7.3 电铸加工

第8章 超声旋转加工

8.1 细深孔超声旋转加工机床

8.2 压电换能器计算机控制恒扭矩装配系统

8.3 细深孔超声旋转加工工具

8.4 微细超声旋转加工

第9章 复合加工方法

9.1 超声电解复合加工

9.2 重叠振动复合磨料加工

9.3 电解电火花复合加工

9.4 电火花超声复合加工

9.5 超声车铣

第10章 金属硬脆材料超声加工

10.1 淬硬钢超声车削

10.2 松孔镀铬层超声珩磨

第11章 化学腐蚀加工

11.1 化学腐蚀加工原理

11.2 化学腐蚀设备及化学溶液

11.3 石英材料化学腐蚀加工

11.4 半导体化学腐蚀加工

11.5 化学腐蚀在玻璃行业应用

参考文献