微位移定位技术是实现高精度运动控制的一门综合技术，是现代科学中最重要的技术之一，其发展水平反映了一个国家经济和技术的综合水平，也是国家制造技术水平的重要标志。数据采集与处理系统是微位移定位技术中的重要组成部分，只有实现了高精度的数据采集才能实现高精度的微位移定位。
本书主要内容和结构安排：本书以沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室的微位移平台为研究对象，对微位移平台数据采集（包括控制系统数据采集部分以及检验系统数据采集部分）进行介绍，并对控制系统数据和检验系统数据的处理进行论述。

第1章 绪论
1.1 微位移平台概述
1.2 数据采集系统概述
1.3 数据处理概述
第2章 整体结构设计
2.1 控制系统数据采集部分
2.2 检验系统数据采集部分
第3章 控制系统数据采集原理
3.1 香农采样定理
3.2 ADC／DAC转换指标
3.3 电容传感器的特性分析
第4章 检验系统数据采集原理
4.1 基于光的干涉理论的位移测量
4.2 激光干涉仪的测长原理
4.3 空气折射率算法
第5章 控制系统数据采集部分的实现方法
5.1 控制系统数据采集整体设计方案
5.2 主要器件选择
5.3 A／D电路设计
5.4 D／A与DSP接口电路设计
5.5 电路的PcB板制作与数据采集实验
5.6 信号完整性分析
5.7 数据采集
第6章 检验系统数据采集部分的实现方法
6.1 系统硬件设计
6.2 系统软件设计
6.3 实验过程及结果分析
第7章 控制系统数据处理
7.1 精密定位控制系统噪声来源分析
7.2 传统数字滤波器设计与分析
7.3 FIR滤波器设计
7.4 结合文化算法与案例推理的数字滤波器设计
7.5 电容传感器的非线性校正
第8章 检验系统数据处理
8.1 检验系统简介
8.2 测量参数
8.3 检验方法与数据处理
参考文献