纳米结构的材料通常具有独特的电学、光学、磁学以及力学性能，而纳米测试方法在纳米材料与器件研究过程中起着至关重要的作用。本书结合实际科研经验介绍了纳米分析和表征技术。全书共8章，具体内容为；第1章概述纳米材料的定义、特性以及表征技术；第2章介绍了纳米材料的膜厚测量方法；第3、4章介绍了材料的形貌及成分表征；第5至8章分别介绍了纳米材料的光学、力学、电学以及磁学性能的表征方法；第9章讲述了纳米微细结构的分析方法。
本书可作为纳米科学与技术领域研究人员的参考；也可作为高等院校相关专业研究生、本科生参考教材使用。

第1章 纳米材料及其性能
1.1 引言
1.2 纳米材料的特性
1.3 纳米测量／表征技术
第2章 纳米尺度及薄膜厚度的测量方法
2.1 纳米定位和测量技术简介
2.2 台阶仪
2.3 椭圆偏振仪
第3章 纳米材料的形貌分析
3.1 基本理论与概念
3.2 扫描电子显微镜
3.3 透射电子显微镜
3.4 扫描隧道显微镜
3.5 原子力显微镜
3.6 激光粒度仪
第4章 纳米材料的X射线粉末衍射仪
4.1 X射线的基本理论
4.2 X射线衍射装置
4.3 X射线粉末衍射仪在纳米材料中的应用
第5章 纳米材料的拉曼散射测试
5.1 拉曼光谱基础
5.2 拉曼散射仪的结构
5.3 拉曼散射在纳米材料领域的应用
第6章 纳米结构的力学性能测试方法
6.1 传统力学和纳米力学
6.2 基于显微镜的力学测试方法
6.3 纳米压痕仪
第7章 纳米材料电学性能的测试
7.1 纳米材料的电学性质
7.2 纳米材料电学特性的测试方法
7.3 纳米硅体系电学性质的研究进展
第8章 纳米材料磁学性能的测试
8.1 磁性的基本概念与基本量
8.2 磁性测量的基本原理和仪器
8.3 纳米材料磁学性能的测量实例
第9章 纳米结构的化学组成及微细结构分析方法
9.1 核磁共振波谱
9.2 顺磁共振波谱法简介
9.3 BET氮吸附法
索引